扫描探针显微镜 Scanning probe microscopy
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扫描探针显微镜(Scanning probe microscopy,SPM)是所有机械式地用探针在样本上扫描移动以探测样本影像的显微镜的统称。其影像分辨率主要取决于探针的大小〔通常在奈米的范围〕。扫描隧道显微镜是第一个被发明的扫描探针显微镜〔1981年〕。
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