软微影技术



软微影技术(soft lithography),又称软微影制程、可挠性奈米转印、软蚀刻技术或软光刻技术,是一种用软性高分子材质做成的可挠性刻印的模具,在模具上面涂布具有自我组合性能的单元分子(SAM, Self-Assembly Monomer)后,像印章一样,在镀金的薄膜基板上微压,把奈米图形模子上面凸出部分的自我组合性能的单元分子(SAM)像油墨一样的印在金薄膜上。
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