微机电系统（英语：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。微机电系统在日本被称作微机械（英语：micromachines），在欧洲被称作微系统（英语：microsystems）。

微机电系统与分子纳米技术或分子电子学的超前概念不同。微机电系统由尺寸为1至100微米（0.001至0.1毫米)的部件组成，而且微机电设备的尺寸通常在20微米到一毫米之间。它们内部通常包含一个微处理器和若干获取外界信息的微型传感器。在这种尺寸范围下，经典物理基本定律通常不适用。而且由于微机电系统相当大的表面积/体积比，诸如静电和浸润等表面效应要比惯性和比热等体效应大很多。

Microelectromechanical systems (MEMS, also written as micro-electro-mechanical, MicroElectroMechanical or microelectronic and microelectromechanical systems and the related micromechatronics) is the technology of very small devices; it merges at the nano-scale into nanoelectromechanical systems (NEMS) and nanotechnology. MEMS are also referred to as micromachines in Japan, or micro systems technology (MST) in Europe.